《表1 2种单晶硅片的异常图片及异常数据表异常占》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《单晶硅片制绒后产生白斑的原因分析及改善措施》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

注：两侧方向是指垂直于硅片刀纹的方向，进刀方向是指平行于硅片刀纹的方向

产线投入157.4 mm×157.4 mm的单晶硅片（下文简称“157.4 mm硅片”），制绒后的硅片存在白斑异常，异常硅片的比例占总投入片数的0.39%；投入156.75 mm×156.75 mm的单晶硅片（下文简称“M2硅片”），制绒后的硅片存在白斑及脏污异常，异常硅片的比例占总投入片数的0.36%。2种单晶硅片的异常图片及异常数据如表1所示。