《表3 产线实验结果统计表》

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《单晶硅片制绒后产生白斑的原因分析及改善措施》

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为了判断单晶硅片制绒后表面的残留物质究竟是从制绒环节引入，还是从硅片生产环节引入，进行了4组对比实验。实验1选取A厂家157.4 mm硅片，实验2选取B厂家硅片，实验3选取A厂家M2+硅片，实验4选取A厂家中心厚度实验M2硅片，分别投入产线后，实验结果如表3所示。