《表2 元素含量Tab.2 Element contents of the samples》
利用能谱仪(EDS)分别对W-2、W-4和W-8中的C、N、O三种元素的质量百分比和原子百分比进行了表征,其结果如表2所示。由表可知,随着活化时间的增长,样品中掺入的N元素含量也随之增加。因为随着活化时间的增长,样品中的孔型变得更加规则,孔通性更好,所以在管式炉中与氨气反应时能掺入更多的N元素。
图表编号 | XD0016826300 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.10.05 |
作者 | 林烨、姚路、吴登鹏、张亚非 |
绘制单位 | 上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室、上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室、上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室、上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室 |
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