《表6 不同预测模型的晶体直径预测指标》

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《基于混合集成建模的硅单晶直径自适应非线性预测控制》

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表5是不同晶体直径预测方法的参数设置.图8是所提建模方法与ELM、LSTM、WPD-ELM和WPD-LSTM方法的晶体直径预测效果以及相应的预测性能评价指标对比.为了准确评价所提预测建模方法的有效性，表6中比较了不同预测模型的预测性能指标.本文所有的仿真环境配置如下:系统Windows 10，内存16 GB，处理器Intel（R）Core（TM）i5-4590，仿真软件MATLAB 2018b.