《表1 Barrett SNR-24型氨基磺酸镍镀液工艺参数》

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《电镀参数对薄膜电路镀镍层性能的影响》


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使用清洗液对99%Al2O3陶瓷片进行清洗,烘干后放入KDF磁控溅射台溅射得到底层金属(Ti/Au),厚度约为4000?,通过光刻、腐蚀工艺制备得到待镀实验基片。选用市售Barrett SNR-24型氨基磺酸镍镀液进行薄膜电路镀镍实验。实验工艺条件如表1所示。