《表2 各位置各方向标准差》

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《机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究》

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残余应力是槽形回弹变形的关键，而标准差能反映一个数据集的离散程度，所以对沿水平方向和竖直方向进行残余应力标准差计算分析。其中选择纯铝膜上表面形变量大的20μm连续区域（截面1/5）进行分析，同样，选取同一位置对复合基底铝膜选取薄膜上表面、膜下表面、镀铬层及玻璃基底上表面，仅玻璃基底铝膜选取上下表面、玻璃基底上表面等相同区域进行分析，得到标准差，如表2所示。