《表2 Y轴各位置均值补偿表》
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对Y轴的位置补偿采用均值方式，各位置补偿数值如表2所示。补偿后定位精度测量结果如图8所示，定位精度达到1.7μm。
| 图表编号 | XD00162700300 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.01.18 |
| 作者 | 胡安继、张健、赵东升、贾敏强、王传海 |
| 绘制单位 | 山东省计量科学研究院、山东省计量科学研究院、山东省计量科学研究院、山东省计量科学研究院、山东省计量科学研究院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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