《表1 X轴各位置均值补偿表》
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对X轴的位置补偿采用绝对值类型补偿，各位置补偿数值如表1所示，补偿后定位精度测量结果如图5所示，定位精度达到2.6μm。
| 图表编号 | XD00162700200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.01.18 |
| 作者 | 胡安继、张健、赵东升、贾敏强、王传海 |
| 绘制单位 | 山东省计量科学研究院、山东省计量科学研究院、山东省计量科学研究院、山东省计量科学研究院、山东省计量科学研究院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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