《表1 加热膜电阻与温度的关系》

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《周期性热流下受限阵列射流沸腾特性的实验研究》

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由于测量时的干扰因素，使用分流器测量电流时误差较大，所以根据加热膜的电阻来计算加热功率。实验得到硅片背面4个不同位置的热电偶的温度平均值得到Pt加热膜电阻与温度的对应关系如表1所示。相同的电压负载，周期条件下的平均温度会略低于稳态实验下的温度。在212.5℃时，温度波动10℃带来的电阻变化引起的加热功率的变化约为1.2%。在实验中可以认为稳压条件下的热流密度与周期加热下的热流密度相同。