《表1 沉积温度与碳膜性质的关系》
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表1显示了沉积温度与碳膜性质的关系，由表1可知，随着温度的升高，碳膜厚度不断增加，方阻及电阻率不断降低，而电阻率的降低与拉曼中ID/IG的升高、FWHMG的减小相对应。
| 图表编号 | XD00197918900 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.12.01 |
| 作者 | 沈佳驰、易镇鑫、张琳、朱顺官、李燕 |
| 绘制单位 | 南京理工大学化工学院、南京理工大学化工学院、南京理工大学化工学院、南京理工大学化工学院、南京理工大学化工学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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