《表2 样品#1, #2与正常样品在不同的工作电压下的噪声电压 (Vrms)》

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《MEMS麦克风噪声失效分析》

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通过物理破坏性方法，将MEMS麦克风芯片封装壳体分离，同时断开ASIC芯片与MEMS传感器的电信号连接，直接对ASIC芯片测试输出电噪声电压（Vrms）进行测量，测试结果如表2所示。