《表1 试验参数列表：气氛对紫外激光非晶合金盲孔加工性的影响研究》

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《气氛对紫外激光非晶合金盲孔加工性的影响研究》

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根据1～8号的试验（表1），紫外激光加工盲孔的底面形貌会随着气氛压力改变而变化，主要表现为两种不同的表面形貌，较高压力下的“珊瑚状”表面和较低压力下的“鳞状”表面。图4(a）和（b）为0和–0.08MPa空气压力下盲孔的底面形貌。结果发现，大气及以上压力下形貌为镂空状的珊瑚结构，底面凹凸不平，且分布着一些微孔。真空中的底面形貌为同心环分布的鳞状结构，底面较为平整，同心环周期性间距约10μm。