《表4 CVD涂层的结构与性能表征》

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《"WC的添加对涂层Ti(C,N)基金属陶瓷微观结构及性能的影响"》

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图4所示，涂层成分从表层到内部依次是TiN/Al2O3/TiC/TiCN/TiN，涂层紧紧的粘附在Ti（C，N）基金属陶瓷基体上。从图4中可知，沉积在基体上的TiN涂层具有细的柱状晶结构，同时TiCN在TiN表面上也展示的是柱状晶结构。TiN晶粒易于形核但很难生长，由于许多的晶粒同时形核，且这些晶粒在形核点上相互竞争、相互阻碍生长，最终形成细的柱状晶[15]。沉积在过渡层TiC上的α-Al2O3涂层呈现出大量的粗晶，这些粗晶是直接在过渡区的表面直接形核长大的。从表4可知，不同WC含量的Ti（C，N）基金属陶瓷样品，沉积涂层的厚度相差不大。随着WC的增加，涂层的硬度、弹性模量、硬模比（H/E）以及结合力都呈现先增加后减少的趋势，当WC添加量为15%时，Y4涂层金属陶瓷性能最优。涂层是依附在Ti（C，N）基金属陶瓷基体上生长，因此基体的微观结构以及性能都会对涂层后的性能产生影响。由表3知，基体硬度的硬度是随着WC的增加而增加，当相同的负载施加时，基体的变形程度不同。而且涂层与基体相互作用，导致涂层产生不同程度的变形，故涂层的硬度、结合力及硬模比与基体的性能变化一致[16]。