《表2 样品A～样品I的晶粒尺寸》

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《沉积温度、压力对CVDZnS晶粒尺寸及性能的影响》

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图3为样品A～样品I通过金相显微镜观察得到的金相图片，经观察计算样品A～样品I的晶粒尺寸大小如表2。从图4可知，在沉积压力不变时样品B、样品C与样品D、样品E表现出平均横向晶粒尺寸变大的趋势，当沉积温度为（670±10）℃、沉积压力为（7 000±200）Pa时，平均横向晶粒尺寸达到最大值，此时平均横向晶粒尺寸为16.39μm，而样品B～样品E表现出的平均纵向晶粒尺寸变大趋势较为明显，同样是当沉积温度为（670±10）℃、沉积压力为（7 000±200）Pa时，平均纵向晶粒尺寸达到最大值，此时平均纵向晶粒尺寸为15.5μm。对于样品B、样品E、样品G，当沉积温度为（670±10）℃时，随着沉积压力的增大CVDZnS的平均横向和纵向晶粒尺寸都表现出先升高再降低的趋势；对于样品C、样品F、样品I，当沉积温度（700±10）℃时，随着沉积压力的增大CVDZnS的平均横向和纵向晶粒尺寸也表现出先升高再降低的趋势。此外，从图4也可以看出，当沉积温度超过（670±10）℃、沉积压力超过（7 000±200）Pa时，样品F～样品H的平均横向晶粒尺寸和平均纵向晶粒尺寸也都呈现下降的趋势。当沉积压力为（5 000±200）和（7 000±200）Pa时，随着温度的升高平均晶粒尺寸发生着变化，呈增大趋势，推测晶粒形状由“棒状”向“球状”演化。