《表2 运动台结构模态对比结果》

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《光刻机运动台系统建模与优化》

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使用共振峰值法分析模态测试结果，当幅频曲线上的模态分离较开时，该峰值为运动台系统对应的结构模态频率。试验结果与仿真结果的对比，如表2所示。从仿真结果和试验结果表明主要几阶模态的误差不大，说明仿真模型能够较好地表征运动台的动态特性。