《表1 恒流器件关键参数列表》
本文提出的恒流器件结构几个初始关键参数如表1所示,并规定用Tepi表示外延层厚度,Nepi表示外延层浓度,Dt表示氧化槽深度,Dadj表示调沟注入剂量,Tox表示栅氧厚度。
图表编号 | XD00150881100 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.06.20 |
作者 | 孟培培、乔明 |
绘制单位 | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室、电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
本文提出的恒流器件结构几个初始关键参数如表1所示,并规定用Tepi表示外延层厚度,Nepi表示外延层浓度,Dt表示氧化槽深度,Dadj表示调沟注入剂量,Tox表示栅氧厚度。
图表编号 | XD00150881100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.06.20 |
作者 | 孟培培、乔明 |
绘制单位 | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室、电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |