《表1 XRR测量超薄ta-C碳膜膜厚、密度以及表面粗糙度》
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本文在拟合计算超薄ta-C碳膜密度时也建立了由表层、主体层与介质层组成的三层层状模型，如图4所示。表1列出了经过拟合后的结果，其中A、B、C、D、E分别是膜厚为7.6、11.0、17.5、24.0、33.0 nm（椭偏测量结果）的薄膜。由表1可以看出，随着超薄ta-C碳膜膜厚的增大薄膜主体层的密度由3042下降到2841 kg/m3，膜厚为11.0 nm的薄膜主体层密度最大，具有较好的致密性。
| 图表编号 | XD00148004900 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.05.25 |
| 作者 | 许世鹏、王华、陈维铅、李玉宏、李玉军、汪爱英 |
| 绘制单位 | 甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室酒泉职业技术学院、酒泉新能源研究院、甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室酒泉职业技术学院、酒泉新能源研究院、甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室酒泉职业技术学院、酒泉新能源研究院、甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室酒泉职业技术学院、酒泉新能源研究院、甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室酒泉职业技术学院、中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
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