《表2 椭偏仪和分光光度计结合表征超薄ta-C碳膜厚度与sp3含量》

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《超薄四面体非晶碳膜的结构和性能》

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由表2可以看出，随着超薄ta-C碳膜沉积时间从4 min逐渐增加到20 min膜厚从7.6 nm增加到33.0 nm，而sp3C含量降低；当薄膜厚度为7.6 nm时，sp3C的含量达到最大。椭偏拟合得到的均方误差值（MSE）都小于10，在误差允许范围内。由此可以推断，由于粒子沉积时入射粒子的能量释放给周围的原子，随着膜厚的增加原子能量的积聚使周围原子获得更多的能量，引发的弛豫使原子结构重新排列。这不利于sp3结构的形成儿使其向sp2、sp结构转变。因此，随着膜厚的增加超薄ta-C碳膜中sp3C的含量逐渐降低。