《表1 几种光度式椭偏仪优缺点总结[34]》

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《椭圆偏振光谱测量技术及其在薄膜材料研究中的应用》

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所谓的光度式椭偏仪是指仪器中各个对光偏振态有影响的光学元件，在一定数量恰当的设置状态之下时对光强进行测量的仪器。不同于消光式椭偏仪，光度式椭偏仪更适用于宽光谱的椭偏测试，极大地增加了测量获得的信息量[40]。光度式椭偏仪优势在于:椭偏参数的获取是直接对探测器接收到的光强信号进行傅里叶分析，而不需要测量偏振器件的方位角，所以测量速度明显快于消光式椭偏仪，特别适用于在线检测和实时测量等工业领域。但由于现阶段所能提供的探测器存在非线性效应以及光源的不稳定，都将增大光度式椭偏仪的系统误差[37]。表1总结了几种不同架构的光度式椭偏仪的优缺点[34]，其中包含的椭偏仪将在后文详细介绍。