《表1 不同方法测量的PTFE打磨后的表面粗糙度》

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《表面粗糙度对聚合物材料真空沿面闪络特性的影响》

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样品分别用600目、1 000目、2 000目、5 000目砂纸打磨。在以前的研究中获取表面粗糙度的方式包括：（1）以砂纸目数表征；（2）由AFM测试结果计算；（3）由光学显微镜观测的表面轮廓计算；（4）由表面粗糙度仪测定。本文分别用AFM（ICON2-SYS）、3D超景深显微镜（KEYENCE VHX-700FC）、表面粗糙度仪（TR210）测量了不同条件打磨后PTFE的表面粗糙度，所测项目及结果见表1，Ra、Rq分别为粗糙度轮廓算术平均偏差和方均根偏压。其中，AFM的量程为90μm×90μm×12μm；VHX-700FC配备50～500倍放大镜头，可观测图像尺寸为1 600 (H）像素×1 200（V）像素，可实时对样品表面进行尺寸测量，并保存测量结果和图像；TR210取样长度为0.25mm、0.8mm、2.5mm三挡可选，粗糙度Ra测量范围为0.005～16μm。三者使用过程中测量长度依次为25μm、270μm、800μm，可测样品表面高度范围一般分别为±2μm、±230μm（倍率500）、±8μm。