《表2 满足洁净室示例所需最低洁净送风量Qs》

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《非单向流洁净室洁净送风量计算探讨》

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计算结果表明，即使三级过滤改为仅有高效空气过滤器一级过滤器，二者洁净送风量相差不过0.4%，由此可得，中间过滤器对洁净送风量的影响很小。因为，预过滤器及中间过滤器对洁净室洁净度的影响有限，其主要功能是减轻末级过滤器的负荷，延长使用寿命。各工况具体比较见下表2: