《表3 XY-Theta平台测试结果》
如图8所示,利用本文方法分别对粗定位和精细定位工况下的重复定位精度测量结果,可以看出:在精细工况下,平台的重复定位精度由于测试图像的内容不同而有所不同,其大小约在0.321 0像素内;在粗定位工况下的重复定位精度约在0.733 4像素内,如表3所示。
图表编号 | XD00146260500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.05.15 |
作者 | 张岩、李光旭、赵玉涛、郑洲洲、张森 |
绘制单位 | 青岛科技大学机电工程学院、青岛科技大学机电工程学院、青岛科技大学机电工程学院、青岛科技大学机电工程学院、青岛科技大学机电工程学院 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |