《表1 含硅非晶碳膜制备参数》

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《硅烷流量对钛合金双极板表面改性碳膜性能的影响》

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本实验采用的基底为钛合金板，大小为20 mm×20 mm×1 mm，为提高薄膜和基底间的结合力，将基底表面用400#—2000#碳化硅砂纸分别打磨至光滑，随后在丙酮和乙醇溶液中分别超声清洗10 min，以去除表面氧化物和有机物，大气下干燥后，放置真空腔内，之后将腔体气压抽至2×10-3 Pa以下，具体镀膜参数如表1所示。