《表1 抛光垫专利族的法律状态统计》

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《集成电路制造业用高分子聚合物抛光垫专利分析》

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由表1可以看出，日本和美国的专利族数量以及处于法律有效状态的数量均处于领先地位，说明这两国的抛光垫产业较为发达。此外，我国集成电路制造业用抛光垫主要依赖于从日本和美国进口的现状也反映出日美两国技术的先进性。