《表2 主要抛光垫专利权人的专利引用情况Table 2 Citations with respect to the top pad-related patent assignees》

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《集成电路制造业用高分子聚合物抛光垫专利分析》

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罗门哈斯利用自身在生产和设计抛光垫方面的优势，向其他企业提供专利的领域集中在抛光垫抛光层表面形貌和结构的设计，基底层粘贴，基于异氰酸酯类抛光材料的抛光垫的制作等方面。而罗门哈斯从其他公司引用的专利包括了:陶氏的光衬底、终点窗口检测技术等专利；东洋橡胶关于研磨方法、基底橡胶尼龙编织材料等方面的专利；嘉柏微电子的旋转抛光方法、半导体基材等方面的专利；JSR的磺化聚异戊二烯共聚物、聚氨酯泡沫体等方面的专利。通过企业间专利的相互引用可以看出，企业之间相互协作，在技术上取长补短，产业链紧密联系，有利于整个产业的发展壮大。