《表5 中国内地抛光垫领域五大专利权人拥有的专利数量Table 5 Number of patents for Chinese top 5 assignees in the field of pad》

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《集成电路制造业用高分子聚合物抛光垫专利分析》

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从表5可以看出，中国内地的抛光垫专利主要掌握在以中芯国际为首的几家国内知名公司之手。从专利地图的分析结果中发现，中国内地的专利处于核心聚类岛屿的边缘，部分专利位于海域，个别专利处于专利地图的核心区域，但是存在与其他公司专利相冲突的可能。另外，中国内地在抛光垫领域的布局并不合理:在全球的布局范围较窄，集中于使用方面，设计方面则集中在抛光垫沟槽的设计，抛光方法的研究集中在利用抛光垫对抛光效能和结果的改进，在抛光垫的制作方法及材料方面几乎空白。