《表4 线修复信赖性测试结果》
为保证最短修复时间,激光脉冲频率设定为激光器最大值100 Hz。为保证光斑重叠率≥0,加工速度设定为300μm·s-1。为避免运动机构运动与激光发射不同步的情况,在起始位置和结束位置分别设置了少量延时,并设定加工次数为2次。根据测试,该参数在保证成功率最优的前提下加工时间最短,与点修复方式相近,约2.7s。根据能量大小制作信赖性测试样品,投入信赖性测试,共测试10d。如表4所示,确认功率范围在10~22μW间无信赖性异常,加工功率小于10μW时,修复成功率降低。大于22μW时会因能量过大影响其他正常亚像素。在后续生产过程中,需严密监控管理该激光能量范围。
图表编号 | XD00141709600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.03.01 |
作者 | 朱世楠、李楠 |
绘制单位 | 成都京东方光电科技有限公司、成都京东方光电科技有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |