《表3 工艺参数设置及仿真、测量结果表》

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《回转体表面掩膜微细电解加工有限元分析及试验研究》

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在加工间隙1.5 mm不变的情况下，设置如表3所示的工艺参数，其中加工电压为4，8，12，16 V，加工时间为4，8，16，30 s，在电解加工机床上进行多组工艺试验。利用LEXT OLS4100激光共焦显微镜进行微坑形貌的测量，图8为显微镜下电解加工得到的微坑阵列。