《表1 传感器的尺寸参数》

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《仿生纤毛MEMS矢量流速传感器的结构设计及仿真分析》

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微型矢量流速传感器的结构主要由4组弯曲折叠梁、组成差分结构的不对称梳齿电极、多纤毛柱以及悬浮薄膜组成。传感器以4in(1in=25.4mm）的SOI（绝缘体上的硅）圆片（器件层厚度为45μm、埋层二氧化硅厚度为3μm、Handel层厚度为300μm）为基底进行制备，其具体结构尺寸见表1。