《表1 不同像素尺寸图像传感器感中光的损失的主要来源》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《亚微米级CMOS图像传感器的光学性能优化研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

首先，我们分析了图像传感器中光信号损失主要来源于以下几个方面：微透镜结构（microl e n s）；彩色滤光片阵列（c o l o r f i l t e r array）；金属隔离结构（metal grid）。我们通过FDTD光学仿真软件分析了不同尺寸像素的光损耗来源所占的比例，如表1。从表1中可以看出，当像素尺寸缩小至亚微米级之后，图像传感器的量子效率急剧恶化，且来源于金属隔离结构造成的光损耗起主导地位。