《表3 慢波结构零件内沟槽检测结果》

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《慢波结构微细内槽电火花加工用工具电极的制作方法及应用》

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加工后采用往复（高速）走丝电火花线切割机床对慢波结构零件进行剖切，然后对加工断面进行槽宽尺寸和间距检验；用表面粗糙度标准样板与加工表面质量进行比对，检验加工后槽的表面质量。图4是沿着中心剖切后慢波结构零件一半的照片；图5是用日本三丰测量显微镜（型号：MF–B2010B）截取的内沟槽正立像照片，放大倍数为50X，从照片可看出加工后的内沟槽线条清晰、形状和表面质量均匀性好，与表面粗糙度标准样板比对表面粗糙度Ra介于1.6μm和0.8μm之间；表3是对慢波结构零件内沟槽的检测结果。