《表1 不同微细加工方法的加工效果对比 (加工对象为0.22THz折叠波导慢波结构) [51]》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《太赫兹段慢波结构的微细加工技术研究新进展》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

2013年，中国工程物理研究院采用微细电火花技术、UV-LIGA技术和微铣削技术在无氧铜表面上针对0.22 THz折叠波导慢波结构的加工进行了探索（加工结果如表1所示），确定了微铣削技术是其设定的试验条件下最适合完成0.22 THz折叠波导慢波结构加工的方法，并以此为基础研制了国内第一支0.22 THz折叠波导行波管[51]。