《表1 实验条件：一种用于微细电火花加工的甚高频微能脉冲电源》

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《一种用于微细电火花加工的甚高频微能脉冲电源》

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甚高频脉冲电源实验在自主研发的μEDM-50微细电火花精密加工样机上开展。机床的最小进给速度为1μm/s、定位精度为（±1）μm、直线轴位移分辨率达0.1μm，能满足微细电火花加工的精度需求。实验平台系统架构见图3。实验采取工作台步进方式进行，同时用示波器和电流传感器对工具电极和工件两端的电压与极间电流进行监控，以观察极间放电状态。实验分别利用传统晶体管开关式电源和甚高频脉冲源进行微表面及微孔的加工，并对比两者的加工效果。实验时，两种电源参数见表1。