《表4 试样Ti含量6次独立测试结果》

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《能谱仪测定钛合金中钛元素含量不确定度评定》

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采用方法GB/T 17359-2012微束分析能谱法定量分析对抛光试样进行六次测定，采用加速电压分别为10kV、12kV、14kV、16kV、18kV、20kV，工作距离WD为8.5mm，光阑孔径为30μm，图像放大倍率100X，采集活时间30s。结果如表4所示。