《表3 试样Ti含量6次独立测试结果》

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《能谱仪测定钛合金中钛元素含量不确定度评定》

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由于碳的颗粒较为粗糙，且在成膜时碳原子碰撞到样品表面后会直接沉积在碰撞位置，不会进行横向移动。为提高表面成膜的均匀性，在选择喷镀厚度时碳膜要稍高于贵金属。鉴于此，对相同抛光试样分别进行喷碳10nm、20nm、喷金5nm、10nm、喷铂5nm、10nm处理。采用方法GB/T 17359-2012微束分析能谱法定量分析对上述试样进行6次测定，采用加速电压为15kV，工作距离WD为8.5mm，光阑孔径为30μm，图像放大倍率100X，采集活时间30s。将检测结果中相应的镀膜材料去除后，进行归一化，结果如表3所示。