《表2:可动膜片边长及膜厚设计》

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《一种高温SOI硅压阻压力芯片的设计与仿真》


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根据经验,可动膜片的轮廓可根据需要设计成正方形、长方形及圆形,由于正方形可动膜片有利于提高传感器的输出灵敏度[8],因此本文将可动膜片设计成正方形,如图2所示。