《表3 3#和4#样品300℃退火后的比接触电阻率（单位：Ω·cm2)》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《p型GaN上Pd/NiO/Al/Ni反射电极欧姆接触的热稳定性研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

为了进一步研究NiO层对反射电极欧姆接触热稳定性的影响，对各组样品在300℃氮气环境下热退火10min并进行了I-V特性测试，结果如图4所示，计算出的比接触电阻率如表3所示。由以上测试结果可以看出，除0#样品外，其余各组样品在200℃氮气环境中，热退火前后都能保持较好的欧姆接触。但是当退火温度升高至300℃时，只有3#和4#样品依然能保持欧姆接触，其余样品则全部变为非欧姆接触。