《表1 传感器材料属性及设计参数》
根据上述方程模型与前述理论分析,选择合理参数如表1。
图表编号 | XD00129329100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.04.01 |
作者 | 孟冉、张卫平、王晨阳、周岁、魏铭辰 |
绘制单位 | 上海交通大学微米、纳米加工技术重点实验室、上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系、上海交通大学微米、纳米加工技术重点实验室、上海交通大学微米、纳米加工技术重点实验室、上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系、上海交通大学微米、纳米加工技术重点实验室、上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系、上海交通大学微米、纳米加工技术重点实验室、上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系 |
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