《表2 不同能量质子与硅原子核弹性碰撞产生的反冲硅核能量》

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《微电子器件重离子推导质子单粒子效应截面不同计算方法比较研究》


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本研究通过利用Monte Carlo模拟,计算得到了不同能量质子与硅原子核发生弹性碰撞后的反冲硅核能量,如表2所列。