《表1 二维矩形压电陶瓷各阶振动模态的固有频率值》

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《基于超声行波方法的液滴运动驱动理论分析与试验研究》

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利用COMSOL Multiphysics多物理场仿真软件对压电陶瓷进行模态分析，得到二维矩形压电陶瓷弯曲振动的前6阶模态以及x、y方向的位移云图。压电振子前6阶模态如图5所示，其中以红色代表正值，蓝色代表负值，颜色越深代表数值的绝对值越大，即相对振动位移越大。各阶振动模态的固有频率值见表1。