《表1 云母基片的厚度和物理性质》

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《基于真空镀膜技术的薄膜热传感器实验》

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本文采用真空蒸发镀膜技术，在云母基片（性质见表1）上按一定顺序蒸镀热电堆和热阻层。制成后的薄膜传感器整体长50 mm，宽2 mm。热电堆的电极材料为纯度99.999%的铜和镍，厚度均为0.1μm。热阻层材料为二氧化硅，厚热阻层厚度为0.8μm，薄热阻层厚度为0.2μm。补偿导线采用的是与金属膜层材料相对应的纯铜丝和纯镍丝，直径均为0.2 mm。