《表1 PDMS基片表面的接触角》

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《PDMS基片表面的光刻胶图形化工艺研究》

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测试用的PDMS基片外形尺寸均为25 mm×25 mm×1 mm，随机选取了3片PDMS基片。在每片PDMS基片表面的3个不同位置，分别进行了接触角测量，所有测量数据如表1所示。可以看出，等离子体改性处理前的PDMS表面为疏水性表面，其接触角平均值为111.03°，经过很长时间，水滴仍然无法在其表面铺展，如图3(a）所示。然而，经过氧等离子体改性处理后，PDMS表面由疏水性表面变为了亲水性表面，其接触角平均值减小到了29.50°，水滴瞬间便会在PDMS表面铺展开来（图3(b））。