《表1 不同等离子处理时间下PDMS接触角恢复情况》

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《基于PDMS-PMMA材料的微流控芯片等离子体键合工艺研究》

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由2.3节可知，PDMS等离子处理时间>10 s时其接触角<10°，可保证键合有效进行，因此本试验选取等离子处理时间均>10 s，研究不同等离子处理时间下PDMS接触角恢复情况，如表1所示。由表1中可以看出:随放置时间的增加，不同等离子处理时间下接触角均成上升趋势，表明等离子处理后随时间增加，材料表面亲水性明显降低；在等离子处理后，接触角可保持一定时间，本试验中20 min内不同等离子处理时间下接触角均可保持<10°，24 h内接触角<60°。