《表1 Al N陶瓷基片的体积密度、显气孔率和硬度》

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《含C源AlN陶瓷基片烧结工艺研究》


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表1为实验样品的体积密度、显气孔率和硬度的测试数据,测试为十次测量的平均值,结果显示烧结温度高的样品c与金属发热体常压高温烧结炉烧制的Al N陶瓷基片的体积密度、显气孔率和硬度差别不大,样品c的体积密度、显气孔率和硬度稍小于标准样品。保温时间长的样品b的体积密度和显气孔率大于标准样品,但是硬度比标准样品小很多。烧结温度低,保温时间短的样品a的体积密度和硬度比标准样品小,显气孔率比标准样品大。具体数据如下表所示: