《表2 图4b中各微区的EDS面扫描分析结果Table 2 EDS surface scanning analysis at different micro areas in Fig.4b (200℃

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《温度对复合CrTiAlN涂层摩擦磨损性能的影响》

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图4a是Cr Ti Al N涂层在200℃下摩擦磨损实验后的磨痕形貌。对4a中的A区域进行放大观察，如图4b所示。可以看到磨痕边缘堆积着很多磨屑，而摩擦轨迹内部较为平整，这主要是因为摩擦过程中，摩擦轨迹外圈受力较小，磨屑不能被压实，所以显得粗糙，越靠近摩擦轨迹中心区域，受到的力越大，所以磨屑被压实变平。对图4b中1、2、3这3个微区进行EDS面扫描分析，结果如表2所示。微区1的N元素含量为36.79%（原子分数），O元素含量为12.59%（原子分数），微区3的N元素含量为45.19%，O元素含量为4.92%，从微区3到微区1，N元素含量下降，O元素含量上升，这证明摩擦过程中涂层发生了氧化。微区2（也就是磨屑）中的N元素基本没有，O元素含量为53.05%，W元素含量为10.33%，Co元素含量为1.60%，Cr元素含量为20.04%，此外还含有少量的Al和Ti元素，这说明涂层和对磨球都发生了一定的磨损，且对磨球材料向磨痕表面发生了转移，并以磨屑的形式聚集在磨痕边缘，对磨球和涂层之间发生了明显的粘着磨损。