《表1 图2b中各微区的EDS面扫描分析结果》

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《温度对复合CrTiAlN涂层摩擦磨损性能的影响》

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图2a是Cr Ti Al N涂层在23℃时摩擦磨损实验后的磨痕形貌。可以观察到涂层表面磨痕很浅。对图2a中的A区域进行放大观察，如图2b所示。可以看到磨痕边缘存在明显的磨屑粘着现象，磨痕表面高于涂层表面，这是由于摩擦过程中，磨擦轨迹内部排出的磨屑堆积在了磨痕边缘，这些磨屑在摩擦过程中逐渐被压实，从而使得磨痕边缘高于涂层表面。对图2b中的1和2这2个微区进行EDS面扫描分析，结果如表1所示。微区1的N元素含量为25.53%（原子分数），O元素含量为23.96%（原子分数），而微区2的N元素含量为44.05%，O元素含量为6.10%。这些数据表明，与涂层中的N、O元素含量相比，磨痕表面N元素含量显著下降，O元素含量明显上升，这说明摩擦轨迹内的涂层发生了氧化，涂层发生了氧化磨损。