《表3 分子泵怠速除气真空记录》

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《一种分子泵除气系统断电保护及高真空保持技术》

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注：*出气速率QX为分子泵后级实验真空腔及连接管道的出气速率；**泵抽气速率S为分子泵怠速除气对实验真空腔的抽气速率，由S=Qx/p1计算[1]。

按上述计算的容气腔体积更换分子泵前级波纹管为长0.6m，内径40mm，两端连接口为KF25的波纹管，重新建立实验真空腔怠速除气参数测量系统，长期除气后，系统真空状态稳定，真空计X1记录实验真空腔真空度p1为6.9×10-4Pa，机组断电，真空计X2记录分子泵前级真空p2，记录结果如表3所示。