《表1 涡轮分子泵故障：半导体设备真空泵常见故障分析及维修》

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《半导体设备真空泵常见故障分析及维修》

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在半导体真空设备中，涡轮分子泵同样也应用十分广泛。其是利用分子牵引（高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象）以高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合实现抽气。涡轮分子泵为高真空泵，需配合前级泵使用，将其泵出口的气体抽走，其使用真空范围为1×10-1～<1×10-5Pa。涡轮分子泵内部结构比较复杂，主要故障有叶片或泵体损坏，异常振动和噪声，真空度问题，泵过热，分子泵转速波动超标或停机等[2]。其中叶片或泵体损坏一般较为严重，需返厂维修。单纯泵的真空度问题原因较多，且出现概率较低，限于篇幅，不再赘述，其余故障简要分析见表1。