《表2 低温泵故障：半导体设备真空泵常见故障分析及维修》

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《半导体设备真空泵常见故障分析及维修》

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低温泵系统主要组成部分包括制冷单元、压缩单元和辅助元件。制冷单元包括膨胀机，一、二级冷头，低温抽气冷阵和泵体。压缩单元由氦压缩机、换热器和油气分离器等构成。辅助单元则主要包括吸附器和阀门等辅助元件。低温泵常见故障见表2。