《表1 实验真空腔出气率测试》

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《一种分子泵除气系统断电保护及高真空保持技术》


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系统除气10h后,测试真空p1为8.3×10-4Pa,关闭K1,测试实验真空腔静态真空变化,用压差法计算实验真空腔出气率Q1,见表1。